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簡要描述:等離子體光譜在線監(jiān)控系統(tǒng)利用物理學(xué)和化學(xué)實驗所積累的物質(zhì)發(fā)光光譜數(shù)據(jù),進(jìn)行理論分析,能確定識別等離子體中發(fā)光物種(特征光譜)、計算電子溫度和激發(fā)溫度、測量某些物種的密度、電離度、電子密度、電子能量分布等性質(zhì)。
等離子體光譜在線監(jiān)控系統(tǒng)
等離子體光譜分析是應(yīng)用廣泛的一種方法。利用物理學(xué)和化學(xué)實驗所積累的物質(zhì)發(fā)光光譜數(shù)據(jù),進(jìn)行理論分析,能確定識別等離子體中發(fā)光物種(特征光譜)、計算電子溫度和激發(fā)溫度、測量某些物種的密度、電離度、電子密度、電子能量分布等性質(zhì)。
等離子輻射光譜過程中都伴隨著電子發(fā)射、電離,即等離子體的光和熱輻射等過程,以激光焊接為例對分析焊接技術(shù)的物理狀態(tài)和過程,探究焊接機理、改進(jìn)工藝方法和改善焊接質(zhì)量都具有非常重要的意義。等離子體光譜的優(yōu)點:1、無介入性,使用間接測量方式,對焊接電弧沒有擾2、信息量豐富,特征譜線的強度、寬度及形態(tài)可以反映出電弧電子密度、溫度、電導(dǎo)率等信息3、靈敏度高、響應(yīng)速度快、抗干擾能力強 。
應(yīng)用:
l 受控?zé)岷司圩儯ㄍ锌R克)
l 空間科學(xué)(等離子體推進(jìn)技術(shù))
l 生化處理(等離子體滅菌)
l 微電子與信息產(chǎn)業(yè)(半導(dǎo)體材料蝕刻)
l 材料合成與處理(等離子體沉積和蝕刻)
l 國防(等離子體隱身技術(shù))
l 高新技術(shù)應(yīng)用(LIBS技術(shù))
特點:
l 實時測量等離子體光譜,并計算顯示電子溫度和電子密度;
l 采用四維混合調(diào)節(jié)位移臺,實現(xiàn)空間點位等離子體測量;
l 采用多通道光譜儀,實現(xiàn)高分辨率、寬波長范圍的光譜測量;
l 軟件實現(xiàn)光譜儀與焊槍頭的聯(lián)動控制;
l 集成元素數(shù)據(jù)庫。
等離子體光譜在線監(jiān)控系統(tǒng)主要技術(shù)指標(biāo):
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